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张经理 女士

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变频/伺服/传动 / 电机

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ETEL 高精度直线轴TBS系列
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产品： 浏览次数：5ETEL 高精度直线轴TBS系列 
品牌： ETEL
单价： 面议
最小起订量：
供货总量：
发货期限： 自买家付款之日起 3 天内发货
有效期至： 长期有效
最后更新： 2024-05-10 14:03
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详细信息
  　　TBS是高精度的单自由度直线轴。这款直线轴采用机械式轴承间接驱动，在同类产品中提供出类拔萃的精准性和精确性。此直线轴由高性能、小齿槽的伺服电机驱动，采用双编码器的反馈控制模式，不仅性能卓越，而且调试简单。*进的间接驱动控制以海德汉集团的编码器技术为核心，这款直线轴还为宏动和微动运动在全行程上提供卓越的机械性能。
　　该直线轴还具有独特的设计特性和选配功能，例如隔热功能、高刚性和微米*的硬限位功能，可充分满足应用对制程可靠和安全的严格要求。
　　该产品主要应用于半导体行业，也能满足众多不同行业的需求，满足对高精准度、高洁净度、高稳定性和高精确度的解决方案。
　　该产品适用但不限于以下应用：圆晶工艺控制应用，例如Overlay测量，关键尺寸和薄膜测量及光电应用。
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