DXR+的刚性得到显著提高,对支撑回转模块的XY平台的控制带宽有直接的影响。DXR+模块使用48 VDC至300 VDC之间总线电压工作。可用AccurET 48或300模块驱动,对于更高位置稳定性要求的应用可用AccurET VHP驱动。
与ETEL的许多其它模块*样,DXR+可安装在所有标准XY平台上。DXR+是单自由度模块,支持任意的角度运动。但可选配*定的角度运动范围,大约60°为*个单位。在*定条件下,DXR+的洁净度可从ISO 5至ISO 1。
DXR+旋转轴
DXR+模块是满足以下应用要求的理想选择:
运动的平稳性
中等精度要求(典型的跳动值大约为5 μm)
位置稳定性在100 nm范围内,半径150 mm时